项目 |
指标 | ||
|
纯氮 |
超纯氮 | |
氮气(N2)纯度(体积分数)/10-2≥ |
99.99 |
99.999 |
99.9999 |
氧(O2)纯度(体积分数)/10-6≤ |
50 |
3 |
0.1 |
氩(Ar)纯度(体积分数)/10-6≤ |
- |
- |
2 |
氢(H2)纯度(体积分数)/10-6≤ |
15 |
1 |
0.1 |
一氧化碳(CO)纯度(体积分数)/10-6≤ |
5 |
1 |
0.1 |
二氧化碳(CO2)纯度(体积分数)/10-6≤ |
10 |
1 |
0.1 |
甲烷(CH4)纯度(体积分数)/10-6≤ |
5 |
1 |
0.1 |
水(H2O)纯度(体积分数)/10-6≤ |
15 |
3 |
0.5 |