电子气的分类

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世源气体 www.51qiti.com 更新时间：2012-1-14 11:18:03

为电子工业服务的电子气品种繁多，用途五花八门，它的分类方法亦较为复杂。一般可按电子气组分的性质来分类，也可以按电子气的用途分类。

（一）按电子气组分的性质分类

按组分的性质分类，大致可分为三大类，即单质类气体，化合物类气体和混合物类气体。其中化合物类应用较多，又可细分为三种，即氢化物（如SiH4、PH3、B2H6等）、氟化物（如NF3、BF3、SiF4等）和碳氟化合物（如CF4、C2F6、C5F12等）。

不同成分电子气的分类

分类	气体名称
单质气体	Ar、H2、O2、He、N2、Cl2
化合物气体	SiH4、PH3、AsH3、B2H6、SiF4、SF6、HCI、H2S、NH3、GeH4、CF4、C2F6、C3F8、C5F12
混合物气体	①SiH4+稀释气（Ar、He、H2、N2） ②PH3+稀释气（Ar、He、H2、N2） ③AsH3+稀释气（Ar、He、H2、N2） ④B2H6+稀释气（Ar、He、H2、N2） ⑤HCI+稀释气（Ar、He、O2、N2） ⑥H2S +稀释气（Ar、He、H2、N2） ⑦NH3 +稀释气（Ar、He、H2、N2） ⑧Cl2 +稀释气（Ar、He、N2） ⑨CO+SF6 ⑩H2Se +稀释气（Ar、He、H2、N2）

（二）按电子气用途分类

根据电子气的不同用途，电子气可分为十多类，例如外延晶体生长气、热氧化气、外延气、掺杂气、扩散气、化学气相沉积气、喷射气、离子注入气、等离子蚀刻气、载气/吹洗气、光刻气、退火气、焊接气、烧结气和平衡气等。

不同用途电子气的分类

分类	气体名称
掺杂气	AsH3、PH3、GeH4、B2H6、AsCl3、AsF3、H2S、BF3、BCl3、H2Se、SbH3、(CH3)2Te、(CH3)2Cd、(C2H5)2Cd、PCl3、(C2H5)2Te
晶体生长气	SiH4、SiH2Cl2、SiHCl3、SiCl4、B2H6、BBr3、BCl3、AsH3、PH3、GeH4、TeH2、 (CH3)Al、(C2H5)3Al、(CH3)3As、(C2H5)3As、(CH3)2Hg、(CH3)3P、(C2H5)3P、SnCl4、GeCll4、SbCl5、AlCl3、Ar、He、H2
气相蚀刻气	Cl2、HCl、HF、HBr、SF6
等离子蚀刻气	SiH4、CF4、C3F8、CHF3、C2F6、CClF3、O2、C2ClF5、NF3、SF6、BCl3、CHFCl2、N2、He、Ar
离子束蚀刻气	C3F8、CHF3、CClF3、CF4
离子注入气	AsF3、PF3、PH3、BF3、BCl3、SiF4、SF6、H2、N2
化学气相沉积气	SiH4、SiH2Cl2、SiCl4、NH3、NO、O2
平衡气（稀释气）	N2、Ar、He、H2、CO2、N2O、O2
外延气	SiH4、SiH2Cl2、SiCl4、Si2H6、HCl、PH3、AsH3、B2H6、He、H2、N2、Ar

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