
| 
 指 标 名 称  | 
 规 格  | |||||
| 
 高纯氦气  | 
 纯氦气  | 
 工业氦气  | ||||
| 
 一级品  | 
 二级品  | 
 一级品  | 
 二级品  | |||
| 
 氦气含量   | 
 99.999%  | 
 99.995%  | 
 99.99%  | 
 99.9%  | 
 99.0%  | |
| 
 氖气含量, ppm≤  | 
 4.0  | 
 15  | 
 40  | 
 ≤ 0.1%  | 
 ≤ 1.0%  | |
| 
 氢气含量, ppm≤  | 
 1.0  | 
 3.0  | 
 7.0  | |||
| 
 氧气、氩总含量, ( 以氧计 ) ppm≤  | 
 1.0  | 
 3.0  | 
 5.0  | |||
| 
 氮气含量 , ppm≤  | 
 2.0  | 
 10  | 
 25  | |||
| 
 一氧化碳含量, ppm≤  | 
 0.5  | 
 1.0  | 
 1.0  | |||
| 
 二氧化碳含量, ppm≤  | 
 0.5  | 
 1.0  | 
 1.0  | |||
| 
 甲烷含量, ppm≤  | 
 0.5  | 
 1.0  | 
 1.0  | |||
| 
 水份含量, ppm≤  | 
 3.0  | 
 10  | 
 20  | |||