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激光行业用气体

准分子激光气

产品名称：

准分子激光气

其他名称：

Excimer Laser Gases

分子式：

ArF、KrF、XeCl

UN NO.：

UN 1956

CAS NO.：

产品纯度：

99.9999％

包装说明：

10L、16L、20L、49L、50L

产品名称：准分子激光气体（Excimer Laser Gases)
其他名称：氟化氩激光气体（193nm）；氟化氪激光气体（248nm）；氯化氙激光气体（308nm）
产品类型： ArF，KrF，XeCl，5%F2/He, Kr/Ne,F2/Kr/Ne,Ar/Ne,F2/Ar/Ne
UN NO.： UN1956
钢瓶容积： 11L，16L，20L，49L，50L
阀门型号：CGA679，DIN 8，DIN 14

高功率准分子激光气体
可用波长	193 nm	ArF
	248 nm	KrF
	308 nm	XeCl
	450nm~520nm	XeF
最大紫外功率	540 W
最大紫外能量	1100 mj
重复频率	可变， 1~600 Hz
脉冲稳定性	0.5%~1%，rms
长期漂移	0.1%~0.5%，rms
光束分布	均匀，平顶
脉冲宽度	10~20 ns
相关气体纯度	F2, 99.9% Ar, 99.9999% He, 99.9999% Ne, 99.9999% HCl, 电子级 Kr, 99.999% Xe, 99.999% O2, 99.999% H2, 99.999%
气体工作温度	- 40 0C ~ + 74 0C
气体压力	520 psig ~ 2400 psig / 35 Bar ~ 167 Bar
钢瓶规格	10L、16L、20L、50L
阀门接口	CGA 679、CGA 330、CGA 580、DIN 6、DIN 8、DIN 14
安全手册	请在本公司网站阅读或下载。

本产品适用于近视眼矫正手术、白癜风治疗等医疗应用：

适用机型	波长 nm	钢瓶规格	阀门规格	工作气体
鹰视（COHERENT）	193	20 L	DIN 8	F2, 99.9% Ar, 99.9999% He, 99.9999% Ne, 99.9999%
博士伦（B & L）	193	20 L、50 L	DIN 8
蔡司（ZEISS）	193	10L、20 L	DIN 8
威视（VISX）	193	16 L	CGA 679
尼德克（NIDEK）	193	16 L	CGA 679
雷赛（LASERSIGHT）	193	10 L	CGA 679
爱尔康（Alcon）	193	16 L	CGA 679
康奥（SCHWIND）	193	20 L	DIN 8、 DIN 14
视可佳（六六视觉）	193	16 L	CGA 679
森美（SUMMIT）	193	16 L	CGA 679
科医人（COHERENT）	308	8 L	CGA 330	HCl,电子级 Xe，99.9995% Ne,99.9999%
美国 Photomedex	308	8 L	CGA 330	HCl,电子级 Xe，99.9995% Ne,99.9999%

工业技术的升级转型需要平衡日益增长的性能需求与加工速度及制造成本之间的矛盾。准分子激光的诞生，以其高光子能量所称著，在对突破材料限制需求越来越迫切的时代，准分子激光器再次站在了尖端工业激光解决方案的最前沿。作为当今最有效、最可靠的脉冲紫外激光技术的代表，准分子激光器有效地推进了诸如半导体、AMOLED平板显示、薄膜、硅底板加工、有机金属沉淀、高温超导、刻蚀、材料研究、汽车制造、生物医疗、光纤、钻石打标设备及可替代能源等多种成长型工业中的技术革新。

品牌	机型	波长	工作气体
ATL	ATL ARF-1	193 nm	F2,Ar,Xe,Ne
ATL	ATL KRF-1	248 nm	F2,Kr,Xe,Ne
TUI	CTFTS-ARFV 2.2	193 nm	F2,Ar,He,Ne
	CTFTS-KRFV 2.1	248 nm	F2,Kr,He,Ne
	CTFTS-KRFV 2.2	248 nm	F2,Kr,He,Xe,Ne
	CTMD-ARFV 2.0	193 nm	F2,Ar,He,O2,Ne
	CTMD-XECLV 2.1	308 nm	HCl,H2,Xe,Ne
	CTMN-ARFV 2.0	193 nm	F2,Ar,He,Ne
	CTMN-ARFV 2.1	193 nm	F2,Ar,He,Ne
	CTMN-KRFV 1.0	248 nm	F2,Kr,He,Ne
	CTMN-KRFV 2.0	248 nm	F2,Kr,He,Ne
	CTMN-XECLV 2.0	308 nm	HCl,H2,Xe,Ne
	CTMN-XECLV 5.0	308 nm	HCl,H2,Xe,Ne
	CTMN-XEFV 1.1	450nm~520nm	F2,Xe,He,Ne
	CTMN-XEFV 1.2	450nm~520nm	F2,Xe,He,Ne
GAM Laser	EX5 ArF	193 nm	F2,Ar,He,O2,Ne
	EX5 KrF	248 nm	F2,Kr,He,Ne
	EX5 XeCl	308 nm	HCl,H2,Xe,Ne
	EX10	193 nm	F2,Ar,He,Ne
	EX50	193 nm	F2,Ar,He,Ne
	EX100	193 nm	F2,Ar,He,Ne
Photomedex	XeCl	308 nm	HCl,Xe,Ne
Photoscribe	ArF	193 nm	F2,Ar,Ne
Photoscribe	KrF	248 nm	F2,Kr,Ne
Potomac Photonics	ArF	193 nm	F2,Ar,Ne
Potomac Photonics	KrF	248 nm	F2,Kr,Ne
Spectranetics	XeCl	308 nm	HCl,H2,Xe,Ne

注意事项:准分子激光气体为高压充装气体，使用时应经减压降压后方可使用。包装的气瓶上均有使用的年限，凡到期的气瓶必须送往有部门进行安全检验，方能继续使用。每瓶气体在使用到尾气时，应保留瓶内余压在0.5MPa，最小不得低于0.25MPa余压，应将瓶阀关闭，以保证气体质量和使用安全。瓶装气体产品在运输储存、使用时都应分类堆放，严禁可燃气体与助燃气体堆放在一起，不准靠近明火和热源，应做到勿近火、勿沾油腊、勿爆晒、勿重抛、勿撞击，严禁在气瓶身上进行引弧或电弧，严禁野蛮装卸。

产品性质说明

MSDS

技术指标

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