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电子工业用气体高纯氨气、超纯液氨、蓝氨(NH3,Ammonia)国家标准GB/T14601-1993详细介绍
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电子工业用气体高纯氦气，钢瓶氦气(He,Heliem)GB/T16943-1997详细介绍
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99.9%~99.995%纯甲烷CH4HG/T3633-1999详细介绍
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99.999%高纯氦He国家标准GB/T4844.3-1995详细介绍
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99.999%高纯氧O2国家标准GB/T14599-1993详细介绍
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99.99%纯氢气、99.999%高纯氢气H2和99.9999%超纯氢国家标准GB/T7445-1995详细介绍
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99.999%高纯氮气N2国家标准GB/T8980-1996详细介绍
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电子混合气体广泛用于大规模集成电路（L.S.I）超大规模集成电路（V.L.S.I）和半导体器件生产中，主要用于气相外延（生成）、化学气相淀积、掺杂（杂质扩散）、各类蚀刻和离子注入等工艺中。详细介绍
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