氘气|D2
三氯氢硅|SiHCl3
三氟化硼 BF3
三氟化氮 NF3
氧化亚氮 N2O
一氧化氮 NO
氯气 Cl2
氢气 高纯氢 H2
氯化氢 HCl
乙硼烷 B2H6
磷烷 磷化氢PH3
砷烷 砷化氢 AsH3
电子级一氧化碳
六氟化硫 SF6
高纯硅烷|SiH4
高纯氨气|NH3
四氟化碳|四氟甲烷|CF4