设为首页
|
联系我们
|
English
网站首页
关于我们
产品中心
产品知识
资料下载
新闻中心
留言板
当前位置:
首页
>
资料下载
>
电子工厂特种气体系统设计规范
气体标准
气体资料
其他资料
安全资料
﹒
干燥空气|零级空气
﹒
高纯二氧化碳 CO2
﹒
高纯氨气|NH3
﹒
高纯气体管道工程
﹒
准分子激光气
﹒
乙炔|高纯乙炔
﹒
高纯乙烷|R170|C2H6
﹒
六氟化硫 SF6
﹒
高纯氢气 H2
﹒
高纯氩气 液氩
气体资料
电子工厂特种气体系统设计规范
世源气体
www.51qiti.com
2008-8-1 17:15:00 [
点击下载:
dzhxpdg.doc
]
本规范的编写将适用于集成电路/太阳能芯片生产厂、新型显示器件厂(TFT/PDP 厂,如上海华虹-NEC、德芯电子(昆山)有限公司)高纯化学品配送系统管道的设计、施工及验收。主要技术内容包括:高纯化学品(含研磨液)配送系统设计,室内管道系统设计,品质在线侦测系统设计,有机溶剂间的防爆设计,气体、液体泄漏检测设计,配套的通风、废气处理、纯水、工艺系统废液收集、电力、生命安全等支持系统设计,土建设计以及上述设备、管道的施工及验收。
分享到:
上一篇:
微电子工业特殊气体贮存及使用守则
下一篇:
电子气体产业动态
友情链接:
广州市谱源气体有限公司版权所有2006-2013
粤ICP备08114730号
工厂地址:广东省广州市增城新塘镇西洲大王岗工业区
电话: 4006-377-517,020-82797785,13711176807曾小姐 传真: 020-82797482
技术支持:
沁盟科技